使用真空煅烧炉清洗是其中节能的办法，行业中又称之为真空高温分解法或真空煅烧炉煅烧法。立式真空清洗炉的真空清洗吸收了煅烧法简便、不需要任何溶剂和辅助材料的优点，克服了煅烧法在空气中煅烧处理喷丝板不易干净和产生明火导致被处理件退火变形的缺点，是近年来发展起来的一种新型处理方法。它特别适用于处理异形、细旦等喷丝板，亦可处理过滤器滤芯、计量泵和其他纺丝部件。
真空清洗炉操作方式：
1.0A段，用60分钟时间将工件加热到300℃。
2.AB段炉内温度在300℃状态下保温60分钟,将工件上80%以上的高聚物熔融流进废料收集罐内。可根据高聚物含量适当增加或减少此段时间。
3.CD 段,在炉内温度达到450℃后保温300分钟,使剩余的少量高聚物在真空、高温、低氧的状态下，充分氧化裂解。这是清洗能否干净的*主要阶段。这段时间内，炉内的高聚物发生的化学反应为：CmHn+ O2－CO2↑+ H2O↑。此时,通过水环式真空泵的抽吸,将炉内生成的二氧化碳和水蒸气经水喷淋洗涤器洗涤后,与水一起排出炉外。只要CD段有足够时间,被清洗件决不会沾有有机物。

4.CD段运行结束后,程序即全部结束,此时炉子即刻断水断电，真空清洗炉厂家仅有仪表通电,进入自然冷却状态,不需人为干预进行操作。
高压卧式真空清洗炉均采用不锈钢电热管真空炉膛内直接加热，密封部位均采用耐高温密封圈，不需水冷却保护，所以，真空清洗炉加热功率小，热效率高，升温速度快，温度均匀性好，加热器检查维修方便，较炉外带式加热器加热节电40%，节水60%，并且，克服了由于水冷却导致的炉内温度均匀性差，局部清洗效果不好等缺陷。该设备具有完整的自动化工作性能，只要对程序温度控制仪输入拟定的工作程序，设备即能进行自动化清洗工作，中途无需人工干预，并具有超温、缺相和断水或低水压报警功能。
防爆真空清洁炉广泛适用于化纤行业生产用的组件、喷丝板、过滤芯等清洁处理，也适用于塑料机械行业的模具，造粒机网片，薄膜机组的模头，过滤器等清洁处理之用。真空清洗炉特别适用于处理异形、细旦等喷丝板，亦可处理过滤器滤芯、计量泵和其他纺丝部件。设备工作原理是先升温到300℃，并保温一定的时间，使被处理件上的聚酯(或其他高聚物)熔化。熔化的物料流下集中到炉体底部的废料收集罐中。待基本流完以后，开始二阶段的升温。大约在350℃左右，残留的聚酯开始分解，此时打开真空泵抽真空，升温到500℃左右，进行二阶段的保温。同时通入少量空气，对残留物进行氧化。在真空状态(-0.8～-0.7MPa)下，残留聚酯的热分解和氧化分解较快，产生的气体和灰分微粒可被抽走。整个过程大约6～8h即可完成。